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GF125 布鲁克斯腐蚀性气体质量流量计
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企业目标
诚信、过硬的产品供应商
客户信赖的、必选的品牌供应商
详细信息
布鲁克斯腐蚀性气体质量流量计
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布鲁克斯腐蚀性气体质量流量计
BROOKS流量计 5850S/5851S/5860S/GF125/GF126
流量范围 相当于0－3 sccm到0－30 sccm氮气（N2）的范围
性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。
可重复性：0.25％ 控制范围：50：1 安装状态灵感度：复零后，比**度误差不到±0.5％量程。
温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度
量程：比*初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）
压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）
输出信号：输出0－5伏直流到20欧姆或更高的负荷 输出5±0.1伏直流（参考），**负荷20欧姆
*操作压力：1500psig ;5-50psid压损（**压损根据气体和周围环境具体而定）
温度、外界/气体：41－149oF（5－65oC）
*泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）
直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质：
标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接：
硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR
电气连接：卡连接器
