布鲁克斯高精度质量流量计  来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了的性能，具有多种选择，允许较大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

 布鲁克斯高精度质量流量计特点

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
• 高纯度 VAR 316L 不锈钢
• 无磨粒
• 氦泄漏检查端口
• 常闭阀（可选常开阀）
• 电致动阀复位
• 低命令流量断流
• TTL 兼容"关阀"功能

优势

• 稳定、可靠的产品平台
• 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
• 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
• 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

• 光纤制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制
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  准确和可重复的过程控制：这是半导体和电子制造业的根本驱动因素。由于每代工具、工艺和节点都具有连续性，已经开发出来并得以部署，所以半导体流量和压力计的*和超高性能要求以及对不断创新和改进的需求，在现在乃将来都不会停止。

  Brooks Instrument 按这些要求提供本行业的流量、压力、真空和蒸汽输送解决方案。我们的半导体产品组合包涵了我们创造众多突破性测量和控制设备的数十年经验，这些设备现已成为本行业各层次工艺设备的标准部件。

  您选择 Brooks Instrument 半导体产品，即选择了我们的独到见解和资源，只有我们才能利用这些处理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接产量方面的挑战：

• 专业：*的半导体工具制造商期待 Brooks 员工用他们*的专业技术和独到见解，对流量和压力的测量和控制技术精益求精，应对*的工艺气体、设备腔体接合以及生产力方面的挑战。
• 准确：Brooks 的仪器为客户提供适用、特别应用的准确度、耐用度，重要的是重复性，帮助客户管理飞涨的工具成本。我们一直不断投资改善我们的产品组合，所以我们的每台设备都有助于提高过程控制，终转化为生产力和产量。
• 可靠：Brooks 的半导体产品采用的是较高质的钢与合金、高性能数字电子技术和获得的传感器设计，能提供数十年的可重复性准确测量和控制，尤其是在与外来工艺气体相互作用时。
• 焦点：Brooks 专注流量和压力的测量和控制，服务能力不断提升，业务遍及各国，能对仪器问题作出较快响应，并对其提供的半导体产品提供更好的生命周期支持。
• 支持：我们支持并提供应用专业技术、定制计量配置、服务和产品选择帮助。