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日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型
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详细信息
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型
配备了于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。
高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行，而振动立即由高精度大功率执行器消除。
我们地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器，并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时，还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。
配备舞台前馈功能和波形显示软件作为标准设备。
特点
- 振动传递特性无共振。实现从低频到高频的超宽带隔振。
- 具有6个自由度的高精度位置控制始终可实现稳定的隔振性能和位置精度。
- 可以选择具有高响应速度的大流量阀，以应对较大的移动负载。
- 安全可靠的设计与CE标记兼容。（控制器SAC-07）
- 标配台前馈功能和振动波形显示分析软件。
用途
- 在半导体制造和检查设备中，它被用作对付需要精细处理的晶片上的振动的对策，并且被用作对付晶片移动台上的振动的对策。
- 在液晶制造和检查设备中，其目的是在龙门架或工作台显着移动时快速衰减振动，并立即对其进行检查或纠正，这有助于缩短节拍时间。
- 在超精密机床中，它用于消除工作台上的振动以进行精密加工，同时支持大载荷的运动。
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型
| 模型 | 可安装质量（1个单位） | 尺寸（1个单位） |
|---|---|---|
| VAAV-550A | 270-900公斤 | 215（宽）x 160（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-1000A | 500-1700公斤 | 225（宽）x 210（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-2200A | 1100-3700公斤 | 280（宽）x 240（深）x 208（高）mm |
| VAAV-4000A | 2100-7000公斤 | 330（W）x 270（D）x 208（H）毫米 |
| VAAV-10000A | 5000-17000公斤 | 465（宽）x 400（深）x 240（高）mm |
| VAAV-20000A | 11400-38000公斤 | 600（W）x 600（D）x 284（H）毫米 |
| VAAV-30000A | 15000-50000公斤 | 700（W）x 700（D）x 182（H）毫米 |
| HA-450水平执行器 | 480（宽）x 365（深）x 405（高）毫米 | |
