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日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-S直线电机
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详细信息
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-S直线电机
高速计算通过*的主动隔振算法执行，并且不使用空气的超快速响应线性致动器和超灵敏的速度传感器可立即消除振动。
由于空气弹簧仅用于负载支撑，因此只要安装了小型压缩机和电源，使用安装在地板侧的超灵敏速度传感器的前馈可提供世界上z高水平的隔振性能。
此外，与VAAV-L系列一样，使用了柔软的空气弹簧，从而实现了该系列中z高的隔振性能。
特点
- 振动传递特性无共振。
由于它配备了VAAV系列中柔软的空气弹簧，因此可以实现该系列中z佳的隔振性能。 - 由于它是由线性电动机控制的，因此消耗的空气更少。（相当于被动隔振表）
- 特别针对对振动敏感的精密测量设备的振动隔离措施以及针对低频振动较大的安装环境进行了优化。
- VAAV系列中z高的性价比。
- 振动波形显示分析软件是标准设备。
用途
- 使用电子显微镜，可以防止高倍率图像因振动而模糊。该有源隔振台对于不喜欢无法通过被动隔振台*消除的低频振动的显微镜有效。
- 它用作对振动特别敏感的设备（例如扫描隧道显微镜，原子间力显微镜和光学测量设备）的振动对策。
- 低频振动大的安装地面环境的防振措施
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-S直线电机
| 模型 | 可安装质量（1个单位） | 尺寸（1个单位） |
|---|---|---|
| VAAV-1000S | 500-1700公斤 | 190（宽）x 190（深）x 178（高）mm |
| 控制器 SEC-03 | 335（宽）x 410（深）x 130（高）mm |
|---|---|
| 控制自由 | 3轴6自由度 |
| 振动传递函数 | 参见下面的图1和图2 |
| 所需气源 | 0.5MPa以上消耗流量相当于被动 |
| 需要电源 | AC100V-240V 200VA（单相） |
| 控制方式 | 速度反馈，地板前馈 |
| 大推力 | 水平方向：20N垂直方向：40N注）4个单位使用时 |
| 产生的磁场 | 0.04μT以下注）距本机150mm处的交流磁场 |
