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MFM-50系列 气体质量流量计
高级会员第4年
生产厂家
青岛芯笙微纳电子科技有限公司,位于青岛市崂山区国际创新园,孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器(MFC)、薄膜真空计(Vacuum Gauges)、压力控制器(EPC)等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务,通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段,实现快速发展,助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项,实用新型12项,计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份,从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业,全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业,承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构,并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米,在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心,全面保障产品的高质量、快速出货能力,并提供专业的售前售后服务。
MFM-50系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内*的流量传感芯片,结合航空铝材抛光气体流道设计以及公司核心的标定和补偿算法,实现对各类清洁、干燥气体的高精度流量检测。该系列产品典型测量精度为±1.5%,量程比达到500:1,此系列产品的量程从10SCCM到200SLM内可选(其它量程可咨询定制),并配有液晶显示、数字输出,方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿,可替代热式毛细管等传统流量计使用。
产品应用 Application
大气环境监测
移动流量检测设备
通风检测装置
电缆充气机
高校实验室
其它工业应用
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产品特点 Feature
动态范围大,小流量下精度更高
自带动态温度和压力补偿,良好的环境适应性
量程比高达500:1
连接方式简易,易于安装和使用
搭配工业级液晶显示屏,用于显示瞬时流量和累积流量,并允许用户现场配置流量计参数
响应速度快、集成度高、体积小巧
全量程输出稳定性高、精度高、重复性好
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产品规格 Specification
参数说明 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 |
量 程 | 0-10/50/100/500/1000SCCM,0-5/20/50/100/200SLM(其它量程可咨询定制) |
量程比 | 500:1 |
精 度 | ±1.5% F.S. |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
重复性 | 0.25% |
响应时间 | 默认1S,可根据用户需求调整 |
流量压损 | <600Pa |
环境条件 | |
介质温度 | 0~50℃ |
工作温度 | -20~70℃ |
工作湿度 | 10%~90%RH(无结冰,无凝露) |
工作压力 | 0~1MPa |
储存温度 | -20~85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC8-24V,纹波 ≤50mV |
功 耗 | 32mW |
显示方式 | 液晶屏 |
通信接口(RS485) | |
接口类型 | 4芯航空插头 |
通信速率 | 9600 |
协 议 | RS485(默认Modbus-RTU,可定制私有协议) |
设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
大节点数 | 250 |
机械参数 | |
接头类型 | 4mm,6mm,8mm快速接头,其它可选 |
主体材质 | 底座:7075铝合金(可选316不锈钢),外壳:铝合金 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
重 量 | 0.3kg(不含快速接头) |
尺寸图 Dimension
单位:mm
产品选型 Product choosing
安全及保修 Safety And Warranty
安全使用
MFM-50系列气体质量流量计用于有害气体或爆炸性气体时,须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息,请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作,甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验,在高压下使用必须按照产品使用说明的限制,否则会导致泄漏及安全问题。
注意:未经公司许可,任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果,公司将不负任何责任。
产品保修
产品必须在说明书规定的正常工作条件下,严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期,从发货之日起提供365天免费保修。维修或更换的产品,保修期为 90 天或延续原保修期(以更长者为准)。
芯笙微纳电子科技有限公司(以下简称芯笙科技)不对安装、拆卸及替换(但并不仅限于安装、拆卸及替换)所导致的任何直接及间接损害和损失承担任何责任。为避免不必要的纠纷,用户应将其有疑问的产品送还公司,公司对问题进行确认后,确定维修或替换。用户承担产品送交芯笙科技的费用及可能风险,芯笙科技承担产品送还客户的费用及可能风险。芯笙科技的所有销售合同认定用户自动接受此保修条件及其中芯笙科技的有限责任。仅芯笙科技有权更改、修订保修条件或决定不执行其条款。
注意,下列情况不适用保修条款:
1)产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常使用的情况;
2)非本公司原装产品。
环境要求 Environmental requirements
对于产品拆封后的包装箱体、填充材料、防静电袋等废弃物,请按照纸张、塑料和其他垃圾进行分类处理。对于达到使用寿命的产品,请参照国家对电子电器产品的相关报废规定进行处理。