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毛细管式热式流量计对安装方式敏感性研究

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2024/10/11 17:15:40

在热式质量流量计技术领域,青岛芯笙微纳电子科技有限公司以其研发实力和创新能力,再次展现了其行业的地位。近日,该公司近期在毛细管式热式流量计的安装方式敏感性研究方面取得了重要进展,在实际应用中,青岛芯笙微纳的毛细管热式流量计展现出了良好的性能。特别是在安装方式敏感性方面,该公司通过深入研究和测试,成功解决了行业在水平安装和垂直安装时存在的精度偏差和零漂问题。这一技术突破不仅提高了产品的稳定性和可靠性,更为客户提供了更加灵活和便捷的安装选择进一步巩固了其在高精度流量测量技术方面的地位。

毛细管式热式流量计对安装方式敏感性研究

毛细管热式流量计是基于托马斯热效应原理,通过检测气体分子搬运热量的能力来对气体流量实现高精度检测。该技术最早由美国Brooks公司提出,并用于航天器推进系统,后逐步用于半导体、真空镀膜、液晶面板、材料制备等领域。其具体结构如下图1所示,金属毛细管尺寸内径一般在0.2~0.4mm左右、外径尺寸在0.3~0.5mm左右通过在上面缠绕两组电阻丝进行加热和检温,从而实现对气体流量的检测。该器件具有敏感度高、压力敏感度低、耐酸碱腐蚀等特点,使其逐步成为高纯气体的主流计量技术。

 

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1:毛细管流量传感器示意图

实际使用中,安装方式可能存在各种可能性,部分毛细管流量计产品对安装位置敏感,例如水平安装和垂直安装存在精度偏差,甚至是零漂,原因在于水平安装和垂直安装时气体分子重力作用效果不同,当垂直安装时,气体分子在加热区密度低、自由程大、活动剧烈,与非加热区分子会产生除正常气体流动之外的热交换,如图2所示。简单来说就是内部气体会由于热场不均匀产生气体“翻滚”,导致毛细管传感器信号除了气体流道导致的热交换外,还有一部分干扰信号来自于重力和密度不均匀导致的气体流动。这一误差与毛细管尺寸相关性很高,当毛细管直径缩小到0.3mm时,其误差可以忽略,其平均精度偏差约为0.2%,且全量程范围内的误差均在规格要求内(0~20%FS, Error <0.3%FS;20~100%, Error <1%RD)。具体测试结果如图3和图4所示

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2:毛细管垂直安装和水平安装时垂直安装时热场分布对比

 

 

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3:安装方式时热场分布对比

 

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4:芯笙S700毛细管式流量计安装方式敏感性测试结果。

青岛芯笙微纳:持续创新,推动行业发展

青岛芯笙微纳电子科技有限公司始终致力于技术创新和产品升级。公司拥有一支由行业专家和资深工程师组成的研发团队,不断攻克技术难题,为用户提供更加精准、可靠的流量计量解决方案。

此次发布的研究成果,不仅展示了青岛芯笙微纳电子科技有限公司在流量计技术领域的深厚实力,也为其赢得了市场的广泛认可和赞誉。未来,青岛芯笙微纳电子科技有限公司将继续秉承“创新、品质、服务”的企业理念,不断推动热式流量计技术的发展,为行业进步贡献更多力量

荣誉加冕,彰显实力,技术创新推动未来

青岛芯笙微纳电子科技有限公司一直致力于技术创新和产品质量提升。公司的毛细管式热式流量计和基于MEMS芯片的热式流量计均展现了良好的性能和稳定性。未来,公司将继续加大研发投入,推出更多高性能、高精度的流量测量产品,为各行业提供更加精准的流量计量解决方案。

近期,青岛芯笙微纳电子科技有限公司凭借其良好的技术实力和创新能力,荣获了创客中国“市长杯”第一名这一重要奖项。这一荣誉不仅是对青岛芯笙微纳过去努力的肯定,更是对未来发展的鼓励和鞭策。青岛芯笙微纳也将以此为契机,继续加大研发投入,推动技术创新和产业升级,为客户提供更加优质的产品和服务。


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