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MFC-E系列 质量流量控制器

型号
MFC-E系列
参数
应用领域:化工
青岛芯笙微纳电子科技有限公司

高级会员4年 

生产厂家

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质量流量控制器,质量流量计

青岛芯笙微纳电子科技有限公司,位于青岛市崂山区国际创新园,孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器(MFC)、薄膜真空计(Vacuum Gauges)、压力控制器(EPC)等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务,通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段,实现快速发展,助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项,实用新型12项,计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份,从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业,全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业,承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构,并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。

公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米,在青岛、深圳潍坊等地设有制造基地和研发中心,全面保障产品的高质量、快速出货能力,并提供专业的售前售后服务。




详细信息

MFC-E系列质量流量控制器Mass Flow Controller)是基于业内*微机电(MEMS)流量传感器芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便,可任意位置安装广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485数字通信方式。

产品应用

  • 半导体加工

  • 分析和环保

  • 燃烧控制器                      

  • 真空技术

  • 表面处理                      

  • 食品和制药

  • 化工(石化)等过程控制



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产品参数

应用领域 化工
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