氮气流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调理阀门和扩大操控器等部分组成。其工作原理为：采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等，分流器决定主通道的流量。
在选型氮气流量控制器时，需要考虑以下因素：
介质：明确测控的气体种类，确认所选氮气流量控制器是否可测控该气体。
压力：气体质量流量控制器可测控的气体通常为低压气体，压力在2MPa以下。选型时需要确定入口压力、出口压力和工作压差，并确保气体质量流量控制器的最大工作压力大于入口压力，工作压差在可选范围内。
温度：包括介质温度和环境温度。用户需要明确被测介质的实际温度和氮气流量控制器所处的工作环境温度。
流量：确定所需的最小流量和最大流量，并确保选型的气体质量流量控制器的满量程大于或等于最大流量，测控范围覆盖最小流量和最大流量之间的范围。
精度：确认所需的精度数值，以及是设定值精度还是满量程精度。
重复性：考虑在相同的测量条件下，对同一被测控的量进行连续多次测量所得结果之间的一致性。
通讯方式：确定通过何种通讯信号来操作氮气流量控制器实现控制流量的目的，如模拟信号控制或数字信号控制。
