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BTF-1200C-SSL-PECVD 双炉PECVD
高级会员第4年
生产厂家安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发,建有超卓的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得patent200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类,与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系,市场营销网络遍布全球各地。
连年来,公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”,并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
产品特点:
该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、碳纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。
技术参数:
双温场滑轨炉 | 主要特点: 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的,操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。 技术参数: 额定功率(KW):4 额定电压(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz 温度(℃):1200(1 hour) 持续工作温度(℃):1100 升& 降温速率(℃/S):≤20 炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1900(管径可选) 加热区长度(mm) :230+230 恒温区长度(mm):100+100 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 认证标准: 密封系统:炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表,法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。 净重(Kg):80 |
射频电源500W
| 信号频率:13.56 MHz±0.005% 功率输出范围:L5W-500W 反射功率:200W 射频输出接口:50 Ω, N-type, female 功率稳定度:±0.1% 谐波分量:≤-50dbc 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ 整机效率:>=70% 功率因素:>=90% 冷却方式:强制风冷 |
供气系统
| 工作电压:185~245V 50HZ 输出功率:18W 流量计标准量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮气标定,量程可选) 工作温度:5~45℃ 工作压差:0.1~0.5MPa 压力:3MPa 准确度:±1.5% FS 测量范围:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 针阀:316不锈钢 混气罐:Φ80×120mm 截止阀:Φ6mm”316不锈钢针阀 尺寸:600×600×650 mm |
低真空机组VAU-02
| 空气相对湿度: ≤85% 工作电电压:220V±10% 50~60HZ 功率:500瓦 抽气速率:8m³/h 极限真空:4X10-2Pa 实验真空度:1.0X10-1Pa 容油量: 1.1L 进气口口径:KF25 排气口口径:KF25 转速:1450rpm 噪音:50dB 外型尺寸:600×600×600mm |
产地类别 | 国产 |
加热方式 | 电阻丝 |
价格区间 | 2万-5万 |
控温精度 | 1℃ |
升温速度(达到最高温) | 30min |
仪器种类 | 管式炉 |
应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,生物产业,石油 |
最高温度 | 1200℃ |