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MFM-50 特气高精度防爆型气体质量流量计控制器
- 型号
- MFM-50
青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项，实用新型12项，计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业，全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。
详细信息
特气高精度防爆型气体质量流量计控制器是专门针对高温气体检测所研制一款高精度质量流量计，承受温度达到120°。在结构设计上，本产品采用的MEMS流量传感器芯片技术，结合高速数字处理电路和特殊流道设计，用来对气体流量/质量流量进行高精度测量，该产品具有精度高、响应速度快、集成度高等优点。
该产品可根据客户需要，设计IP65级及以上的防水、防尘保护，以及汽车级抗震设计。
该 产 品 20 SLM 以 内 典 型精 度 为 1 %，50 SLM 典 型 精 度 为 1 . 5 %，量程比均优于100 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从100SCCM 到 800 SLM 可 选（其它量程可咨询定制)，输出信号可选择：4-20mA模拟信号、0-5V模拟信号、RS485数字信号,供电电压为DC24V（±10%）。
精密气体流量计产品应用于：医疗仪器、环境分析仪器、光谱色谱分析仪器、泄漏检测、热力分析、智能钎焊、其他气体流量控制行业等
特气高精度防爆型气体质量流量计控制器 拥有防爆认证
超小的体积，适合系统集成
高精度及零点稳定性
超快的响应时间及稳定时间
良好的重复性和再现性
可模拟采集、控制或数字采集、控制
良好的防水防沉和抗震性能，适用于多种场合
