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紧凑型质量流量控制器

型号
参数
应用领域:医疗卫生,环保,化工
青岛芯笙微纳电子科技有限公司

高级会员4年 

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芯笙紧凑型热式气体流量控制器MFC

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MFC-EP100系列经济型质量流量控制器

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质量流量控制器,质量流量计

青岛芯笙微纳电子科技有限公司,位于青岛市崂山区国际创新园,孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器(MFC)、薄膜真空计(Vacuum Gauges)、压力控制器(EPC)等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务,通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段,实现快速发展,助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项,实用新型12项,计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份,从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业,全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业,承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构,并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。

公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米,在青岛、深圳潍坊等地设有制造基地和研发中心,全面保障产品的高质量、快速出货能力,并提供专业的售前售后服务。




详细信息

  MFC-E系列紧凑型质量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 专 为 气 体 分 析 仪 、质 谱 仪 、配 气 仪 等 行 业 所 开 发 的 一 款 高 精 度 、低 温 漂 、高 可 靠 性 的 气 体 质 量 流 量 控 制 器 产 品 。该 产 品 配 备 有 高 精 度 流 量 传 感 器 、进 电 磁 比 例 阀 、3 1 6 L 不 锈 钢 气 路 座 等,具 有 精 度 高 、响 应 速 度 快 、稳 定 性 好 等 优 点 。操 作 使 用 方 便,可 广 泛 用 于 。输 出 和 控 制 信号包括:0-5V模拟信号和RS485数字通信方式 。
  紧凑型质量流量控制器 产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比
  紧凑型质量流量控制器产品特点:
  温度和压力不敏感
  设计劲凑,可安装任意位置
  超快的响应速度
  良好的重复性和再现性
  可模拟采集、控制或数字采集、控制


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应用领域 医疗卫生,环保,化工
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