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Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪
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经销商冠乾科技Grant Technology 有限公司创立于中国上海。 公司为用户提供先进可靠的设备及、
仪器技术,为客户把握工艺过程,得到优质的结果而服务。
Grant是“授予”的意思,希望公司能够成为一个平台,以用户能够得到上更新更快的技术资讯,技术方案为企业目标。
冠乾科技追求品质产品、专业的应用和完善的售后服务,我们是您可以信赖的合作伙伴。
工艺设备:真空镀膜机;离子束刻蚀机,ICP刻蚀机,等
产品线丰富,元素分析:原子吸收,气相色谱,液相色谱,气质联用,紫外分光光度计等; 热分析:材料表面分析:原子力显微镜,光学轮廓仪,摩擦磨损等; 通用分析:扫描电镜,
实验室仪器
原子吸收光谱仪
近红外光谱仪
紫外分光光度计
电化学工作站
红外光谱仪
镀层测厚仪
数字显微镜
影像测量仪
Wafer 粗糙度检测
3D 轮廓仪
超景深显微镜
TTV 测试
扫描探针显微镜
台式扫描电镜
其他仪器:
四探针测试
离子减薄机
Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性,可以提供快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。
它的操作和分析软件系统提供了更易于使用的界面和简洁的功能,可以访问多种预编程滤镜和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半导体,眼科,医疗设备,MEMS和摩擦学等领域的测量分析,可用于表面粗糙度,RDLxian进封装工艺厚度等测试。
满足计量要求,具有很好的Z轴分辨率和准确性,并在更小的占地面积内提供了布鲁克白光干涉仪(WLl)落地式型号所具备的业界认可的优点。它对反射率从0.05%到100 %的各种表面都非常易于测量。
Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪拥有三款型号,分别是GT100、GT200、GT500,它们的技术参数如下:
型号 | GT100 | GT200 | GT500 |
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样品台区别 | 手动样品台 | 自动样品台 | 高级自动化样品台 |
技术参数 | 扫描量程:≤10mm 垂直分辨率:<0.01nm 水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR) 台阶高度准确性:<0.75% 台阶高度重复性:<0.1% 1 sigma repeatability 扫描速度:37μm/sec(with standard camera) 样品倾角:≤40°(shiny surfaces),≤87°(rough surfaces) 样品高度:≤100mm(4 in.) |