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EZ6-S 灵巧型台式匀胶机/甩胶机/旋涂仪/

型号
EZ6-S
江苏雷博科学仪器有限公司

高级会员4年 

生产厂家

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匀胶机,烤胶机,涂膜机,狭缝涂布机,紫外清洗机,电解双喷仪

       江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月,江苏雷博科仪通过资源整合,将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ,独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现,在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
       公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
       公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域,具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。 

       公司目前团队人数80多人,业绩和规模处于快速扩展期,2013年起年销售额一直保持快速增长,目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区,其中生产区域约1500平方米,办公及仓储区域约1000平方米。

详细信息

  匀胶机主要用于晶片涂光刻胶,有自动、手动和半自动三种工作方式。
 
  送片盒中的晶片,自动送到承片台上,用真空吸附,在主轴电机的带动下旋转,转速100—9900转/分(±10转/分),起动加速度可调。每道程序的持续时间,转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可通过编程控制。
 
  匀胶机有一个或多个滴胶系统,可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大,出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度一般在500—1000nm,同一晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种,并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边功能,去掉晶片正反面多余的光刻胶。
 
  烘烤工位,有隧道式远红外加热,微波快速加热以及电阻加热的热板炉等。涂胶后的晶片要按一定的升温速率进行烘干。烘烤过程在密封的炉子中进行,通过抽真空排除挥发出来的有害物质。前烘结束后,将晶片送入收片盒内。
 
  主轴转速的稳定性和重复性是决定胶膜厚度均匀性和一致性的关键,起动加速度的大小是决定是否能将不同粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的决定因素。
 
匀胶机产品参数:
 
  1.转速可控范围:100-12000RPM,转速分辨率:1RPM
 
  2.大单步步长3000S,旋转时间分辨率0.1S
 
  3.加速度可控范围:100-30000RPM/S
 
  4.最大推荐旋涂可底物尺寸:6寸圆形底物
 
  5.7寸全彩触摸屏人机界面操作
 
  6.单步或多步运行可选,可编组10组10步程序
 
  7.超高分子材料内腔,不锈钢外壳
 
  8.特殊设计的防进胶、防堵胶功能
 
  9.可升级一路精确计量自动点胶功能
 
  11.带真空和盖子开关互锁功能,确保操作安全
 
  12.标配三种直径规格真空载物盘(直径10mm、25mm、2英寸)
 
  14.外形尺寸:295(W)*366(D)*270(H)
 
  EZ6-S匀胶机是一款高性能精密匀胶机,采用了*进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。可以存贮10组程序,每组程序可达10步。所有运行参数如转速、加速度、转动时间、点胶机选择等都可在触屏上方便设置。
 
  EZ6-S-EN嵌入式灵巧型EZ6匀胶机:
 
  与EZ6技术参数*相同,分体嵌入式设计:
 
  1.分体的EZ6匀胶机,主机与控制盒分开,用电缆连接
 
  2.可嵌入手套箱或工作台面下,降低操作高度
 
  3.触屏安装在手套箱内或手套箱外可选
 

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