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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
特征
应用/结果示例
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
基本规格
阴极 | φ2英寸直流磁控管/ 2极面对电极 |
目标 | 包含金靶 |
膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
排气操作 | 自动的 |
箱体尺寸 | 内径φ120mm x D120 mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:15公斤 RP:9公斤 |