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SC-708系列 日本sanyu electron台式快速涂布机
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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
特征
应用/结果示例
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
基本规格
阴极 | φ4-8英寸/ 2极电极 |
溅射电流 蚀刻电流 | 0-50mA(包括电流表) |
溅射电压 蚀刻电压 | 0.8 / 1.4kV |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ240mmx D240mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
样本量 | 大φ4〜8英寸 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:282/450 / 440mm RP:460/175 / 265mm |
重量 | 身体:约20kg RP:23kg |