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上海伯东代理美国 KRi 离子源RF2100ICP
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详细信息
射频等离子体源 RF2100ICP Plasma Source
上海伯东代理美国 KRi 考夫曼品牌离子源, 推出 RF2100ICP Plasma Source 射频等离子体源及配套控制器, RF2100 等离子体放电, RFICP 在 2MHz, 电子自动匹配, 固定匹配网络. 离子源 RF2100ICP 适用于预清洁, 氧化和氮化处理, 辅助沉积, 以及各类半导体材料, 磁性金属等的制备.
KRi RF2100 ICP 射频等离子体源特性
通过 RFICP 放电激活等离子体: 产生 O₂, N₂ 反应等离子束
宽束发散等离子束(准中性): 大出口平面孔径, 提高覆盖范围和均匀性
输出低能量离子: 大限度地减少衬底损坏
无提取栅网: 减少复杂性, 降低维护成本和潜在污染源
可靠的等离子点火电路: 专用电子源仅在等离子体启动时开启
离子源自动控制和调节: 自动排序和射频阻抗匹配
无水冷却: 消除真空中水泄漏的风险
适用于不同的轰击距离: 一般为 15 至 45厘米
KRi RF2100 ICP 射频等离子体源参数
Dishcharge | 电感耦合 |
RF discharge power | 600W |
输出电流 | > 500mA (取决于功率,压力和气体) |
通 Ar 能量范围 | 5-50V (取决于功率和压力) |
等离子尺寸@源打开 | 14cmφ |
离子束形状 | 发散 |
点火 | 电子源 |
气体 | Ar, O₂, N₂, H₂/Ar blend |
压力 | 0.5-10mTorr (取决于气体种类) |
气体流量 | 5-60sccm (取决于抽速, 气体, 压力和功率) |
冷却 | 无水冷却 |
一般高度 | 9.25” (23.5cm) |
直径 | 7.675” (19.5cm |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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