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ATTO diener plasma低压等离子清洗机
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10.5 升的diener plasma低压等离子清洗机为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层。
特点:
·紧凑型设计,节省空间
·输出功率最大 300W,连续可调
·7寸触摸屏人机交互界面(PCCE控制)
·存储5套工艺参数(PCCE控制)
·操作简单
用途
·用于不同材料表面的处理
·适合于研究所、高校、研发中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面处理
diener plasma低压等离子清洗机产品参数:
选购品:单体导入模块、发泡瓶、石英腔体、石英托盘、铰链门、数字/模拟计时器(手动控制)、皮拉尼真空计、法拉第盒、H2泄漏检测(PC控制)、温度传感器(PC控制)、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀
产地类别 | 进口 |
应用领域 | 医疗卫生,化工,能源,建材,电子 |
电极 | 360度外置环绕电极 |
外形尺寸 | W525xD450xH450mm |
电源 | AC220V 50Hz 10A |
真空泵 | 排气速度8m3/H |
工艺气路 | 两路 |