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Femto RIE diener真空等离子清洗机

型号
Femto RIE
参数
产地类别:进口 应用领域:化工 外形尺寸:W560?x?D600?x?H860mm 电源:AC230?V?/?16?A 真空泵:排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa 工艺气路:单路,双路,三路 工艺气体:O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1
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详细信息

diener真空等离子清洗机/低压等离子系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层

德国Diener electronic成立于1993年,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。

diener真空等离子清洗机用途:

·适用6寸以下样品的处理
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用

特点:

表面清洗活化
表面蚀刻

可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

参数:


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产品参数

产地类别 进口
应用领域 化工
外形尺寸 W560?x?D600?x?H860mm
电源 AC230?V?/?16?A
真空泵 排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa
工艺气路 单路,双路,三路
工艺气体 O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1
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