起订量:
Diener 等离子表面处理仪 Zepto W6
顶级会员第4年
经销商上海尔迪仪器科技有限公司是一家代理经销国内外仪器的专业公司。秉承“销售*仪器、提供优质服务”的宗旨,在制药、化工、环保、科研、大学、医学等领域开拓了广泛的市场,并赢得了广大用户的支持和信赖。尔迪在今后的发展中,将贯彻诚信、服务、务实、创新的经营理念,一如既往地把国内外优秀的仪器设备介绍并提供给国内的用户。孜孜追求,不懈努力,不断提高服务水平,为提升用户的检测水平和科研水平贡献各自的绵薄之力,与广大用户共同享受科技成果,在互利协作中共同进步。
Diener 等离子表面处理仪 Zepto W6
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 6” Wafer去胶清洗
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
型号 | ZEPTO W6 | ZEPTO W6 PCCE | ||
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 | ||
工艺气路 | 双路气体 | |||
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 | |||
单体导入 | H2O等单体(选配) | |||
流量计 | 针阀流量计 | MFC流量计 | ||
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配) | ||
内尺寸(Dia.×D)mm | 160mm×180mm | |||
容积 | 4L | |||
电极 | 360度外置环绕电极 | |||
发生器
| 40KHz 0~100 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | |||
真空压力计 | 指针式压力计(选购) | 皮拉尼数字式压力计 | ||
计时器 | 旋钮式(选购) | 数字式 | ||
托盘 | 高硼硅玻璃(石英选配) | |||
外形尺寸(WXDxH)mm | 269x324x176(40kHz) | 425x450x185(13.56MHz) | ||
电源 | AC220V 50Hz 10A | |||
真空泵 | 排气速度4m3/H |
上海尔迪仪器科技有限公司是一家代理经销国内外仪器的专业公司。秉承“销售*仪器、提供优质服务”的宗旨,在制药、化工、环保、科研、大学、医学等领域开拓了广泛的市场,并赢得了广大用户的支持和信赖。尔迪在今后的发展中,将贯彻诚信、服务、务实、创新的经营理念,一如既往地把国内外优秀的仪器设备介绍并提供给国内的用户。孜孜追求,不懈努力,不断提高服务水平,为提升用户的检测水平和科研水平贡献各自的绵薄之力,与广大用户共同享受科技成果,在互利协作中共同进步。