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GL Plasma等离子体清洗设备
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生产厂家青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是引新的纳米压印设备和解决方案提供商。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用,例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。
GL Plasma等离子体清洗设备主要应用于活化,提升附着力和清洗等工艺。
●适用于大300mm直径以下晶圆或者330×400mm基材(软工作模具基材)
●适用于清洗纳米压印基底表面
●适用于纳米压印基底表面增粘、激活、改性
●适用于增加工作模具基材与模具复制材料粘附性