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全自动/轨道式去胶剥离机
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代理商上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!
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未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!
公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*
全自动/轨道式去胶剥离机
产品介绍
适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺(Liftoff工艺)
不锈钢柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
8寸以下化合物(钽酸锂等)全自动去胶剥离工艺处理
适合声表滤波器(SAW)行业产能要求适中的批量产线
可选配MES协议转换模块
产品参数
white:
设备配置:1套浸泡单元、1套剥离单元
浸泡模块处理晶圆数量:25片
剥离单元主轴旋转速度范围:20-3000rpm
加速度范围:20-5000rpm/s
剥离喷嘴类型:高压或扇形喷嘴
设备尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)
应用领域 | 电子 |
设备配置 | 1套浸泡单元、1套剥离单元 |
浸泡模块处理晶圆数量 | 25片 |
剥离单元主轴旋转速度范围 | 20-3000rpm |
加速度范围 | 20-5000rpm/s |
剥离喷嘴类型 | 高压或扇形喷嘴 |
设备尺寸 | 1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H) |