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SP200-AT 全自动喷胶机

型号
SP200-AT
参数
应用领域:化工 处理晶圆:25片(标准Cassette),自动mapping 电缸有效行程:300mm*300mm 线轨式机械手自动上下片:可连续自动化工艺处理 最大雾化流量:8ml/min,程序可调 雾化颗粒直径:30~50um 温度均匀性:≤±1%(温度范围:RT~150℃) 控温精度:±0.5℃ 设备尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)
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紫外可见分光光度计,原子荧光光度计,原子吸收分光光度计,紫外分光光度计,气相色谱仪,液相色谱仪,电子天平,旋光仪,熔点仪

上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。

主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。

未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!

公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




详细信息

喷胶机

适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

产品参数

处理晶圆:25片(标准Cassette),自动mapping
电缸有效行程:300mm*300mm
线轨式机械手自动上下片,可连续自动化工艺处理
最大雾化流量:8ml/min,程序可调
雾化颗粒直径:30~50um
温度均匀性:≤±1%(温度范围:RT~150℃)
控温精度:±0.5℃
设备尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)

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应用领域 化工
处理晶圆 25片(标准Cassette),自动mapping
电缸有效行程 300mm*300mm
线轨式机械手自动上下片 可连续自动化工艺处理
最大雾化流量 8ml/min,程序可调
雾化颗粒直径 30~50um
温度均匀性 ≤±1%(温度范围:RT~150℃)
控温精度 ±0.5℃
设备尺寸 1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)
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