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BTF-1200C-II-SL 大三温区滑轨CVD系统(低真空、高真空环境)
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生产厂家安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发,建有超卓的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得patent200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类,与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系,市场营销网络遍布全球各地。
连年来,公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”,并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
大三温区滑轨CVD系统(低真空、高真空环境)技术参数
BTF-1200C-III-SL-4ZL | |
尺寸 | 1080×440×590mm ( 炉子)/2000×490×760mm ( 炉子+滑轨) |
炉管尺寸 | Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管径可选) |
加热区长度 | 300+300+300mm(900mm) |
恒温区长度 | 500mm |
工作温度 | 1100℃ |
最高温度 | 1200摄氏度 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 | ±1℃ |
推荐升温速率 | 10-20℃/min |
额定电压 | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
额定功率 | 7KW |
供气系统 | |
外形尺寸 | 600x600x650mm |
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) | 100、200、500sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 | ±1.5%F.S. |
线性 | ±0.5~1.5%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
响应时间 | 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5 MPa |
最大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
压力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
低真空机组 | |
工作环境 | 5℃~40℃ |
空气相对湿度 | ≤85% |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
大三温区滑轨CVD系统(低真空、高真空环境)