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UNIPOL-1203 化学机械磨抛机
- 型号
- UNIPOL-1203
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉，退火炉，气氛炉，真空感应熔炼炉，箱式炉，手套箱，研磨抛光机，电池测试恒温箱，金刚石线切割机，磁控溅射仪，蒸发镀膜，PECVD设备供应商！
公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。
主要产品：生命科学仪器，化学分析仪器，光学仪器，物性测试仪器及设备，环保设备/流量仪表，行业专用仪器，药物检测仪器，种子仪器，农业和食品仪器，石油仪器，煤炭仪器，测绘仪表，建筑仪器，公路仪器，地质仪器，电工仪器仪表，自动化仪表，气象仪器，环保仪器，电教器材，无线电仪器，小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质，高服务，高信誉”赢得各地市场，各个领域的好评和欢迎。
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详细信息
UNIPOL-1203化学机械磨抛机，适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。 
1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.01mm）。
3、设有两个加工工位，可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
| 产品名称 | UNIPOL-1203化学机械磨抛机 | |
| 产品型号 | UNIPOL-1203 | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：不需要 | |
| 主要参数 | 主机部分 | |
| 1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2个 5、摆臂调节档位:1-15档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘:φ300mm 8、载样盘:φ105mm 9、修盘环:φ127.5mm | ||
| GPC-100A精密磨抛控制仪 | ||
| 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程：1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸：外径146mm，高266mm | ||
| 自动滴料器 | ||
| SKZD-2滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4自动滴料器 1、加液泵：4个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | ||
| 产品规格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm | |
| 序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
| 1 | 铸铁研磨盘 | 1个 |  |
| 2 | 不锈钢抛光盘 | 1个 |  |
| 3 | 载物盘 | 1个 |  |
| 4 | 修盘环 | 1个 |  |
| 5 | SKZD-2滴料器 | 1个 |  |
| 6 | SKZD-4自动滴料器 | 1个 |  |
| 7 | GPC-100A精密磨抛控制仪 | 1个 |  |
| 8 | 抛光垫 （磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 |  |
| 9 | 刚玉研磨微粉 | 0.5kg |  |
| 10 | 石蜡棒 | 4根 |  |
| 序号 | 名称 | 功能类别 | 图片链接 |
| 1 | YJXZ-12搅拌循环泵 | （可选） |  |
| 2 | 精密测厚仪 | （可选） |  |
| 3 | 陶瓷研磨盘 | （可选） |  |
| 4 | 玻璃研磨盘 | （可选） |  |
| 5 | 磁性树脂金刚石研磨片 | （可选） |  |
