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参考价:¥52000

HP100-PE 精密型烤胶机

型号
HP100-PE
规格
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参数
产地类别:国产 应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药 面板尺寸:220*220mm 温度范围:室温至300℃ 温度分辨率:0.1℃ 控温精度:±0.2℃
安徽弛芯生物科技有限公司

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公司提供各类微细加工服务和工艺流程设计咨询,为各大科研院所提供多种单项加工或综合类器件开发服务。公司与国内多家研究单位和公司机构有长期的委托加工合作关系,设备齐全,服务及时,适合各类加工需求。

主要从事半导体和MEMS领域微细加工设备的销售。公司目前主要销售的产品是晶圆键合设备、晶圆喷胶设备、基础工艺设备和检测设备等半导体*工艺设备。

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详细信息

精密型烤胶机是一款自带顶升功能,具备真空吸附和可进行线性控温的高精密烤胶设备。

精密型烤胶机烤胶温度可达300℃(更高温度可选),可实现控温在±0.5℃以内,温度分辨率在0.1℃,表面温度均匀性小于1%的控温操作。HP100-PE且带有接近模式烤胶的顶升功能,方便计时,方便上下片拿取,顶升功能能够进行5步编程,可存贮100组顶升烤胶程序。

产品参数
1.硬质阳极氧化铝面板,面板尺寸:220mm*220mm,适合于8"圆晶底物烤胶
2.温度调节范围:室温至300℃,温度分辨率:0.1℃
3.7寸全彩触屏,高级PLC控制,控温精度达到±0.2℃
4.带顶升功能的接近烤胶模式,顶升高度范围:0-30mm可控,电动顶针高度分辨率:0.1mm
5.顶针可使用于直径或内切圆直径大于40mm的圆形或方形底物
6.1KW铸铝高均匀性发热部件,热板表面温度均匀性:工作区为±1%
7.可存贮100组烤胶配方,每个配方5个加热阶段,加热时间和顶针高度可
8.外型尺寸:303(W)*446(D)*295(D)
HP100-PE烤胶机与HP100-SE相比,增加如下功能:
1.热板表面带真空吸附功能,确保基片与热板表面紧密接触式烤胶
2.提供恒温模式和线性控温模式烤胶程序,可实现温度的线性加热和降温控制



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
面板尺寸 220*220mm
温度范围 室温至300℃
温度分辨率 0.1℃
控温精度 ±0.2℃

规格类型

HP100-PE 52000元 1000台 可售
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