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德国进口晶圆光学检测设备
高级会员第3年
生产厂家南京芯测软件技术有限公司,专业打造半导体晶圆级测试及芯片检测等系统集成平台。公司致力为客户提供半导体测试设备国产化改造,以及系统集成的一站式平台服务。公司的目标是成为国内晶圆级在片测试,器件测量系统软件、硬件的先进供应商,以满足国内用户需求,开发半导体测试设备和系统集成软件定制化服务。
南京芯测的在专注于在片测试系统设备经销与晶圆在片测试软件的研发。涉及的设备包括:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台、硅光探针台、射频探针台、高低温探针台、除此之外涉及经销芯片ESD测试系统、封装及工艺检测设备等。我们服务的领域涵盖半导体晶圆级在片测试、射频微波器件测量,大功率器件测试、微组装封装工艺检测、失效分析、材料测试等应用行业
检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求
高性能、高性价比 | 可靠的结果 | 数字集成 |
它具有优异的可用性和先进的自动化功能,是要求日常任务的理想选择。相比起更先进的光学显微镜,它兼顾强大的性能与经济的价格。 | 使用带编码的组件和先进的光学技术,Axioscope 提供可靠的,可再现的结果。此外,自动化的Axioscope7 能够使您的工作流程*自动化-所以它能很快成为实验室的得力助手。 | 靠着Axiocam系列相机和ZEN 2 core成像系统,Axioscope成为一个强大的数字文档系统。从设备控制-到图像采集、分析以及储存您的分析数据,Axioscope提供了一个*数字化的工作流程。 |
一、德国进口晶圆光学检测设备的应用:
从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆,甚至整个平板显示器,检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm,最大横向样品空间为300 mm,大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。
二、德国进口晶圆光学检测设备的特点:
(1)具有两种手动机柱和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分利用显微镜的最大横向样品空间300 mm x 300 mm和最大样品高度254 mm的优势。
(2)Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品,依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
(3)借助硬件自动对焦功能,可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
(4)将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用,能够以高分辨率无接触地分析敏感样品。
(5)Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证,并满足5级洁净室的应用要求。