MKS MultiGas 6030傅立叶变换红外光谱仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分 析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MKS MultiGas 6030操作简便，易于维护。

特点和优点

⚫ 10ppb-灵敏度对于绝大多数有毒有害气体

⚫ 易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟

⚫ 同时分析和显示多达30种气体

⚫ 分析仪储存了校准光谱，省去了气体筒的成本

⚫ 取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

⚫ 保护的线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

⚫ 频率和分辨率诊断，确保校准恒定

⚫ 提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

⚫ 用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作

光谱分析

Multigas的分析器有个具有定量和多功能的分析软件，它能同时分析和报道许多混合 物的浓度，这个能在个人电脑上运行的软件， 能对分析器直接量测到的气体温度和压力的 变化进行自动修正。样本的收集和分析在一 秒内完成，进行瞬时分析。

整个数据整理过程中，MultiGas 软件一边计算SETUP里面选择气体的浓度，一边不 断的收集和描绘光谱。显示形式包括浓度历 史的图表和列表形式，测得的光谱和残余光 谱。这个残余光谱能被用来确定分析的误差， 使得QA/QC变得简单和真实。当解决了所有 被提及的光谱后，残留光谱就描绘“剩余的” 光谱信息一次。一旦光谱被收集和保存，这 些光谱可以在任何时候利用同样或不同的零 点设定进行再工艺。

对应环境和工艺监控的特殊设计，2102傅利叶变换红外分光计是紧凑和粗糙的，能够在0.5cm-1的光谱决议上操作，是可用的处理FTIR方式中较快速，灵敏和稳定的！另外，它能在在恶劣环境下操作，具有对高温，振动和温度变化的免疫。更可贵的是，高速率的数据处理系统是 标准的，为分析提供低噪音的红外光谱。

这个分光计连接到一个小体积(200mL) 多变换，有5.11米有效通道的气室，这个气室的设计结合了非球面的， 非端正的镜子，它能为传统的多变换气室提供两倍光学吞吐量。做为选择，一个单变换 的气室能用于很高浓度的高腐蚀或者强吸收 率的气体，任何一种气室在环境温度到 191℃之间操作。

仪器的自主校准

MultiGas 的软件有多点校准图，能提供 一个动态的范围至10-9的的数量级.许多核数的校准都由其提供，另外，用户也可以通过 已知的浓度来进行校准。MultiGas 软件检验每个工具的性能的效用，使它能把一个已经 在一台机器上校准的的值用于其他任何一台机器上，而且不用变更。

MKS MultiGas 6030傅立叶变换红外光谱仪规格

分析仪主机

分析仪采样参数

分析仪气体室

检测极限