MKS傅立叶红外气体分析仪是一种高性能的气体分析仪器，用于检测和测量气体样品中的成分。其关键部件包括光源、光学系统、样品室、检测器、数据处理系统和控制系统等。下面将分别介绍这些关键部件的功能和特点。
1、光源：光源是MKS傅立叶红外气体分析仪中的一个重要部件，用于产生红外辐射。光源通常采用稳定的红外辐射源，例如热电偶或红外发射二极管。光源的稳定性和强度直接影响到检测的准确性和灵敏度。
2、光学系统：光学系统主要包括光路、滤光片和反射镜等组件，用于引导和整理红外辐射，确保其能够准确地照射到样品室中的气体样品。优质的光学系统可以提高分辨率和灵敏度。
3、样品室：样品室是用于放置气体样品的区域。在MKS傅立叶红外气体分析仪中，样品室通常采用密闭设计，以避免外部干扰和气体泄漏。样品室的温度、压力和湿度等参数需要严格控制，以确保测量结果的准确性。
4、检测器：检测器是用于测量被样品室中气体吸收的光强度的部件。通常采用红外探测器，例如热电偶探测器或半导体探测器。检测器的灵敏度和响应速度对其性能至关重要。
5、数据处理系统：数据处理系统用于接收、处理和分析检测器输出的信号，并计算出气体样品中各种成分的浓度。数据处理系统通常配备了先进的算法和软件，可以实现实时监测和数据记录。
6、控制系统：控制系统用于控制整个分析仪的运行和参数设置。控制系统通常包括温度、压力和流量控制等功能，以确保分析过程稳定可靠。
总的来说，MKS傅立叶红外气体分析仪的关键部件主要包括光源、光学系统、样品室、检测器、数据处理系统和控制系统，它们共同作用，实现了对气体样品成分的高精度分析和监测。
