美国SONIX超声波扫描显微检查系统 ECHO LS

特点

SONIX Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于 bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有良好的检测性能。提高生产效率和产量，使用 ECHO 的设备和软件

容易的设置和使用

工艺过程监测

合格/失效分选

专业认证

SONIX 扫描探头频率范围从 10MHz 到 300MHz,适合各种类型的应用和材料。

优势：

减少实验室空间（占地面积小）

键盘快捷键（方便移动操作）

全焊接机身框架（促进平台稳定性）

降低水槽高度（人体工程学设计）

可同时进行反射扫描和透射扫描

最大 360 度可视

超大扫描面积

水槽底部倾斜（易于排干水）

探头随 Z 轴移动（取代托盘上下移动）

可滑动支架

符合欧洲机械指令

紧凑、稳定的结构设计（低维护）

符合 CE,SEMI S2,NRTL

可滑动的电气面板（方便维护）

防静电涂层（安全罩、水槽、门等）

美国SONIX超声波扫描显微检查系统 ECHO LS 规格参数：

扫描轴（X 轴）：

定位装置： 线性伺服马达

最大速度：1000mm/sec

重复精度：+/-0.5um

编码器分辨率：0.5um

最大扫描区域：350mm

步进轴（Y 轴）：

定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

分辨率：0.25um

最大扫描区域：350mm

聚焦轴（Z 轴）：

定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

分辨率：0.25um

最大行程：50mm

夹具：

JEDEC 标准尺寸托盘夹具

扫描平台可固定*的托盘夹具

透射杆探头固定

机台尺寸：

W31”xD31”xH48’’(约长 79cm*宽 79cm*高 122cm)

流体系统：

循环泵和 5um 过滤器

超声波仪器

DPR500 接收器 配置 L2/H4 脉冲发生器

可选 U4 超高频脉冲发生器

其它：

带脚轮的摆放桌

紧急开关和安全锁

较低的取放样品区域

其它特色软件功能选项

TAMI  SCAN: 一次扫描得到最多 200 张断层图像

ICEBERG: 强大的离线分析技术

WinIC Pro: 增加功能和分析

WinIC Offiline：远程分析

Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器

ECHO 机台面板与 WinIC 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC 软件是 Sonix 公司研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供先进的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。

SONIX 软件优势　

● 可编程扫描，自动分析

    定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据          

● FSF表面跟踪线

    样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片          

● ICEBERG离线分析

    存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析

● TAMI断层显微成象扫描

    无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，最快速完成分析。

SONIX 软件 -  应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能