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DM200-SE 桌面显影机

型号
DM200-SE
参数
产地类别:国产 应用领域:化工,生物产业,能源,电气,综合
江苏雷博科学仪器有限公司

中级会员3年 

生产厂家

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自动匀胶显影机

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匀胶机、显影机、烤胶机、刻蚀机、清洗机

      江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以 高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术 力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现, 在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可 靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制 化服务的供应商

      公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、 烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;L EB O science®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、 去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。 公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光 电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域,具有核心技 术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。

 

详细信息

  桌面显影机优势
 
  1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
 
  2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
 
  3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
 
  4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
 
  5.真空压力可调,压力值实时显示。
 
  6.液体流量可调,回吸可调。
 
  桌面显影机参数
 
  支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)
 
  1.转速分辨率:±1 RPM
 
  2.旋涂速度:20-3000rpm(空载)
 
  3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)
 
  4.工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec
 
  5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)
 
  6.单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序
 
  7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
 
  设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。
 

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 化工,生物产业,能源,电气,综合
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