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PT3000 等离子清洗机
高级会员第4年
生产厂家 江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月,江苏雷博科仪通过资源整合,将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ,独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现,在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域,具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
公司目前团队人数80多人,业绩和规模处于快速扩展期,2013年起年销售额一直保持快速增长,目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区,其中生产区域约1500平方米,办公及仓储区域约1000平方米。
设备的优点:
1、采用射频电源、自动匹配器,一键式操控。
2、低温等离子体,能量低、密度高,适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂和微细结构的材料。
设备的参数:
腔体材质 :铝合金
供电电源 : AC220V、1000W
溅射电压:MAX 2500V
溅射电流:MAX 30mA
靶材尺寸:直径57mm,厚度0.1~0.5mm
射频电源功率: 0-300W可调
射频频率: 13.56MHz
真空度:≤100Pa
气体路数:2路
气体流量:MFC气体质量流量计 500SCCM(可调)
控制: 触屏
清洗时间:1-6000s连续可调
处理尺寸:≤8寸
内腔尺寸:226mm(长)*126mm(高)*224mm(深)
外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(宽*深*高)
重量:≈38KG
真空泵:飞越ARV-4