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LUXET Thermo 100 锁相红外显微成像系统
- 型号
- LUXET Thermo 100
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2016 年，我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台，以更好的为客户提供现场体验，从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。
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详细信息
LUXET Thermo 100 是一款全guo产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。
LUXET Thermo 100锁相红外显微成像系统特色：
应用场景：
物镜 8X
电压 6V
锁相频率 12.5Hz
· 电极之间的短路
· 漏电和击穿
· 器件电阻异常
· 器件上的温度分布
工作原理：
锁相红外测量过程是通过调制施加的电流或电压，利用视频锁相算法来达到降低背景噪声的目的。利用这个技术，器件的失效点可非常精准地被定位。
软件：
自主研发的测量软件,包含时域重构、深度测量、图像暂存、电压-电流测量等功能。
LUXET Thermo 100锁相红外显微成像系统规格：
| 物镜 | ||||
| 分辨率板实拍图 | 名称 | 数值孔径 | 视野范围(mm） | 分辨率(um） |
|
| MWIR WA | 0.125 | 96*76.8~19.2*15.36 | N/A |
|
| MWIR 1X | 0.125 | 9.6*7.68 | 20 |
|
| MWIR 8X | 0.8 | 1.2*0.96 | 2 |
| 制冷中红外红外相机 | ||||
| 探测器 | 锑化铟（InSb） | 碲镉汞（HgCdTe） | ||
| 面阵尺寸 | 640*512 | 640*512 | ||
| 制冷方式 | 线性制冷机 | 线性制冷机 | ||
| NETD | <25mK | <25mK | ||
| 制冷机寿命 | 20,000h | 20,000h | ||
| 尺寸参数 | ||||
| 名称 | Thermo 100 | |||
| 宽*深*高 | 1300*1094*2160mm | |||
| 重量 | Approx. 600kg | |||
| 工作条件 | ||||
| 电压 | AC220V | |||
| 真空 | 大于50kPa | |||
| 压缩空气 | 0.6-0.8MPa | |||
| 运动行程 | ||||
| X | ±80mm | |||
| Y | ±80mm | |||
| Z | 450mm | |||
