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TRANSPECTOR MPH 美国INFICON英福康残余气体分析仪
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- TRANSPECTOR MPH
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详细信息
产品名称：INFICON残余气体分析仪(TRANSPECTOR MPH)
品牌：美国INFICON
产地：美国
型号：TRANSPECTOR MPH
美国INFICON英福康残余气体分析仪TRANSPECTOR MPH介绍：
性能提高良率并使正常运行时间**化
持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内**的性能，有助于**限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。
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美国INFICON英福康残余气体分析仪TRANSPECTOR MPH功能：
**模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
TCP/IP 以太网连接
双丝极
可现场更换电子倍增器
组合阳极、阴极和反射极丝极套件
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
信噪比更高
可调换传感器和电子元件
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准
