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Regulus系列 超高分辨场发射扫描电子显微镜
- 型号
- Regulus系列
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半导体设备，光学显微镜，二手显微镜，光学解决方案
苏州合仪精密电子科技有限公司坐落于苏州工业园区，主营工业显微镜及制样设备、高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。合仪秉承“以光学为核心，为客户提供解决方案”的经验思路，经过多年的努力，成为众多企业、高校科研单位 提供各种专业化的光学系统解决方案。为客户提供更优质、快捷的专业化服务。我们积极引进先进、检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台，以更好的为客户提供现场体验，从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。
详细信息
超高分辨场发射扫描电子显微镜"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的*佳性能。
（*1仅 限Regulus8240/8230/8220）
超高分辨场发射扫描电子显微镜特点：
◆沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2。
◆采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能。
◆(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)。
◆采用污染小、高真空样品仓。
◆运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2。
技术参数：
| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | ||
| 二次电子分辨率 | 0.7 nm（加速电压15 kV） | 0.6 nm（加速电压 15 kV） | ||||
| 0.8 nm（着陆电压1 kV）*3 | 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3 | |||||
| 着陆电压 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | ||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | ||||
| 样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台（可选5轴马达台） | 5轴马达驱动 | |||
| 移动范围 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | |
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | ||
| R | 360° | |||||
| T | -5～70° | |||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | ||||
| 再现性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | ||
*3减速模式下观察。
*4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率。
