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常州普乐斯大气压等离子清洗机RTR100L-W500
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等离子清洗机,等离子表面处理机
昆山普乐斯电子科技有限公司成立于2010年，是一家集等离子表面处理技术研发、制造、销售和推广于一体的高科技公司。作为一家专业的等离子表面处理应用技术方案公司，普乐斯PLAUX致力于整合等离子表面处理技术、自动化以及人工智能等各要素，注重客户体验与互动，积极参与*材料研发、加工和器件制造工艺的创新。
详细信息
型号 | RTR100L-W500 | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） |
PLC（标配）/PC（可选） | ||
操作系统 | Windows 10 | |
触摸屏 | 7寸 | |
整机规格 | 尺寸 | W6900×D1650×H1150mm |
腔体 | 处理宽幅 | <520mm |
材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选），腔体3段式 | |
冰水机 | 通路 | 用于电源、电极、真空泵浦的冷却 |
供电 | AC380V、3PH、50/60Hz、3KW | |
蚀刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均匀性 | ≥90% | |
真空计 | 薄膜硅电容耐腐蚀 | 1个，0-10Torr |
流量计 | MFC | 4个，量程0-2000ml/min |
真空泵 | 干泵机组（螺杆泵+罗茨泵） | 1套，120m3/h+1800 m3/h；极限真空值≤50mTorr |
发生器 | 中频 | 40KHz，20KW |
温度控制系统 | 过程温度控制 | 30-150℃恒定可控 |
张力控制系统 | 数显张力 | - |
其它 | 工艺气体：14MPa减压至0.3MPa，O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 气体压力：0.2MPa≤气源≤1MPa；气源压力：0.3-0.8MPa；气源纯度：无油无水干燥气体；工作环境温度：≤30℃；冻水流量：5 SLM；干燥Air/N2流量：17 SLM | |
