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PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:生物产业,能源,电子,制药,综合
上海沛沅仪器设备有限公司

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等离子清洗机,真空等离子清洗机,等离子去胶机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,实验室等离子清洗机,小型等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子镀膜机

上海沛沅仪器是一家集等离子体技术设计、制造、产品开发、销售与服务于一体的技术型企业,公司致力于提供专业的等离子表面处理系统,比如等离子清洗机,等离子去胶机,等离子刻蚀机,实验室等离子处理机等,向用户提供国内等离子表面处理设备和优质专业的服务。

公司技术团队67%以上具备硕士或硕士以上学位,公司由长期从事等离子体应用技术研究开发、多次参与国家重大科学工程研究的专家和产业化专家联合创建,提供一系列等离子体表面处理系统、等离子体刻蚀系统、常压等离子清洗设备等,并与中科院上海应用物理研究所,复旦大学,中国科技大学,上海科技大学,上海交通大学等建立了密切的技术合作交流关系。

 

公司的愿景是成为等离子体应用领域的优质供应企业,用科研的沉淀和应用的创新,为中国的制造业崛起和化战略贡献一份力量。

 

 

 

 

详细信息

  PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机特点:
 
  1. 桌面型,性能稳定、操作简便、使用成本极低、易于维护,高性价比。
 
  2.小身材,有效处理面积大,可以轻松处理8寸硅片去胶等应用,最大可以处理203mm*203mm样品。
 
  3.采用气浴电极,清洗效率高。
 
  4.灵活的电极配置方案,最多可以处理2片8寸硅片
 
  5.对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和表面改性。
 


          PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机参数:
 
  1.  真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm
 
  2.  电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
 
  3.  电极尺寸:205mm *205mm
 
  4.  频率:13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)
 
  5.  功率:0-500W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数
 
  6.  气体控制:针式气体流量阀, 60-600ml   2路气体
 
  7.  真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor
 
  8.  控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
 
  控制软件功能:界面显示实时工作状态
 

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 生物产业,能源,电子,制药,综合
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