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EPMA-8050G 电子探针显微分析仪
- 型号
- EPMA-8050G
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岛津企业管理（中国）有限公司是（株）岛津制作所于1999年100%出资，在中国设立的现地法人公司，在中国全境拥有13个分公司，事业规模不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心，并拥有覆盖全国30个省的销售代理商网络以及60多个技术服务站，已构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。本公司以“为了人类和地球的健康”为经营理念，始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务，为中国社会的进步贡献力量。
详细信息
“The Grand EPMA” 诞生
搭载高质量场发射电子光学系统
将岛津EPMA分析性能发挥到*致
从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有*空间分辨率的端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至*致。
当之无愧的“The Grand EPMA” ，高水准的EPMA诞生！
更高分辨率面分析
对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。
优异的技术实现
■ *的空间分辨率
EPMA可达到的更高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）
■ 二次电子图像高分辨率高达3nm
碳喷镀金颗粒的观察实例。实现更高分辨率
3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压
细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。
■ 大束流更高灵敏度分析
实现3.0μA（加速电压30kV）的超大束流。
全束流范围无需更换物镜光阑。
■ 至多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
无人可及的52.5°X射线取出角。
4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。
至多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。
■ 全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。
追求「易懂」的人性化用户界面。
搭载导航模式，自动指引直至生成报告。
更高灵敏度面分析
使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精细地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。
实现微区更高灵敏度分析的先进技术
1 高亮度肖特基发射体
场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可少的稳定大电流。
2 EPMA专用电子光学系统
电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定更合适的打开角度，将电子束压缩到更细。当然是不需要更换物镜光阑的。
3 更高真空排气系统
电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。
4 高灵敏度X射线谱仪
至多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。
