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QBT-P 磁控溅射镀膜机厂家
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生产厂家厦门韫茂科技有限公司成立于2018年,由硅谷海归团队创立,核心成员拥有超20年薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验,2021年入选高新技术企业,2022年入选厦门专精特新技术企业,是一家以纳米级薄膜沉积工艺技术为核心的多领域全栈式薄膜沉积方案供应商,为客户提供全面的技术解决方案以及先进的纳米材料薄膜沉积装备,针对先进制造国产化的痛点,开发自主设备。
一、磁控溅射镀膜机厂家核心参数:
价格区间:150万-200万
仪器种类:磁控溅射镀膜机
产地类别:国产
应用领域:微电子学
基片尺寸:4寸(可定制)
靶材:钽
基片温度范围:RT-900ºC
成膜厚度均匀性:基板刻蚀均一性<3%
极限真空:极限真空UltimatePressure<3E-9Torr
二、磁控溅射技术原理:
在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场。当溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速为高能电子后,并不直接飞向阳极,而是在正交电磁场作用下作来回振荡的近似摆线的运动。高能电子不断与气体分子发生碰撞并向后者转移能量,使之电离而本身变成低能电子。这些低能电子最终沿磁力线漂移到阴极附近的辅助阳极而被吸收,避免高能电子对极板的强烈轰击,消除了二级溅射中极板被轰击加热和被电子辐照引起的损伤,体现出磁控溅射中极板“低温”的特点。由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射。
三、磁控溅射镀膜机厂家技术特点:
成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜
四、售后服务:
保修期:1年
是否可延长保修期:否
现场技术咨询:有
免费培训:1.设备出厂前,提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试
免费仪器保养:有需要可安排
保内维修承诺:保修期内(除天灾和人为损害外)部件、元件费用、出差费用均由我司承担
报修承诺:质保期内出现故障时我司将及时响应,并在8小时内派技术人员到现场解决故障;
五、技术参数:
六、工艺展示: