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美国 Angstrom Sciences 溅射靶材阴极备件

美国 Angstrom Sciences 溅射靶材阴极备件

从标准的单元素材料到定制化合物，从小圆形到多瓦和阶梯结构，从商业级到超高纯度，Angstrom Sciences 提供优质的磁控溅射靶材。

我们利用各种专业加工技术，如热压、热等静压 (HIP)、冷等静压 (CIP)、感应真空熔炼和真空铸造，以生产符合严格的应用标准。

所有溅射靶都经过清洁、检查、化学测试，并在惰性气体下包装，以便立即用于您的真空系统。

Angstrom Sciences 提供多方位的溅射靶材，包括：贵金属、纯金属、合金、陶瓷、金属陶瓷、硼化物、氧化物、碳化物、氮化物、硅化物和氟化物。

纯度范围从商业级 (99.5%) 到超高 (99.9999%)。

铝，氧化铝，石墨，铬，钴，铜，金，铟，ITO，铁，钼，铌，镍，镍铬，镍钒，钯，铂金，硅，二氧化硅，银，钽，锡，钛，钨，锌，锆

Angstrom Sciences Magnet Mapping Kit 磁铁测绘套件

磁体映射套件提供了一种测量磁控管磁场并将其与磁体阵列的原始图进行比较的方法。

可以提供磁体测绘套件，允许用户测量其磁控管的场强，并确定磁体阵列是否有足够的损坏或退化以保证更换。

随着磁控溅射阴极中的磁场减弱，工作电压和低工作压力会增加，从而对薄膜质量和均匀性产生负面影响。

拥有磁性诊断工具将允许用户确定过程偏移是由于磁控管还是其他原因。

磁体测绘套件由测绘板、高斯计和探头组成。测绘板设计为安装在溅射阴极上，并钻有沉孔，以便可以在目标表面获取读数。这样可以实现一致的放置，并且可以将读数与每个 Angstrom Sciences 磁控溅射阴极提供的原始磁图进行比较。