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FSM 500TC 薄膜应力及基底翘曲测试设备
- 型号
- FSM 500TC
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上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势，公司集研发、创新于一体，专注于满足客户的各类特殊要求，一切以客户为中心，经过十余年艰苦卓绝的奋斗，现已经成长为一家科工贸一体的综合仪器设备供应商，正以积极进取、昂扬的步伐迈向新的长征。
我们秉承“实诚、坦诚”的宗旨经营环保产业，专注于水质分析仪、大气环境污染物检测、传感器、实验室仪器设备、过程仪器仪表等。同时拥有多个品牌授权合作资源，数千种进口检测仪器仪表产品及配件；产品类型涉及气体分析仪及传感器、水质分析仪及电极、气象、水文、实验室仪器设备及耗材试剂、核辐射、植物生态、土壤、勘测、计量测量、电工、无损、半导体仪器设备等。
在实验室分析仪器领域，富瞻环保与赛默飞(thermo fisher)，瑞士万通(metrohm)，沃特世(waters)，安捷伦(Agilent)等公司合作，销售代理品牌产品。同时，拥有多年实验室二手分析仪器设备国内服务经验,国外稳定采购渠道，国内翻新检测出厂安装调试，到后期维修维保及相关的技术支持，富瞻环保专业的服务团队努力为客户创造更有性价比的解决方案。
水质产品：
主要合作品牌产品有：
水质仪器合作品牌主要有：
气体检测仪品牌主要有：
实验室分析器品牌主要有：
传感器品牌主要有：
实验室试剂耗材品牌：
1、nalgene：广口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
半导体测试设备
物料 电子元器件、芯片
电子仪表
详细信息
产品品牌：Frontier Semiconductor
产品型号：FSM 500TC
薄膜应力及基底翘曲测试设备简介:
FSM 500TC 200mm 高温应力测试系统可以帮助研发和工艺工程师评估薄膜的热力学性能和稳定性特性，主要应用于半导体，三-五族，太阳能，LED,数据存储，微机电和面板产业。这些特性有助于检测到诸如薄膜开裂，空隙，突起等可能在生产过程中导致严重的问题。在新工艺和材料投入生产前，FSM500TC作为检验其成熟性的工具，起着重要的作用。
FSM 500TC 200mm简洁的用户界面，使其很容易被操作人员或者偶尔使用的研发人员在研发或者生产环境下进行室温和高温环境下的应力测试。
主要设计特性：
· 多用途:
兼容50-200mm晶圆，无需要更换样品载片台和夹具，可以在室温和高温下测试晶圆应力和晶圆弯曲。
· 样品容易放置和回收
通过使用定位销使得晶圆很容易放置到 FSM 500TC内进行重复操作
· 自动切换双波段激光
具有的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时，系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描。这使客户可以测量包括Nitride，Polyimides, Low K，HighK,金属等薄膜而不会遇到无法测量的问题。
· 可编程温度周期
加热周期菜单可编程为单个或者多个运行在不同的升温速率和退火温度条件下，进行薄膜材料的热稳定性检测。
· 数据管理和报告
测试结果可用应力vs温度，应力vs时间, 或者晶弓vs温度为坐标生成图表，方便显示和输出成 Excel™ 或者 Word格式的报告。热膨胀系数计算应用是FSM500TC的标准功能。
相互叠加的多个加热周期，测试结果的图表和MAP可以很容易输出为Excel或者 Word文档生成报告。
