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薄膜应力及基底翘曲测试设备
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上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势，公司集研发、创新于一体，专注于满足客户的各类特殊要求，一切以客户为中心，经过十余年艰苦卓绝的奋斗，现已经成长为一家科工贸一体的综合仪器设备供应商，正以积极进取、昂扬的步伐迈向新的长征。
我们秉承“实诚、坦诚”的宗旨经营环保产业，专注于水质分析仪、大气环境污染物检测、传感器、实验室仪器设备、过程仪器仪表等。同时拥有多个品牌授权合作资源，数千种进口检测仪器仪表产品及配件；产品类型涉及气体分析仪及传感器、水质分析仪及电极、气象、水文、实验室仪器设备及耗材试剂、核辐射、植物生态、土壤、勘测、计量测量、电工、无损、半导体仪器设备等。
在实验室分析仪器领域，富瞻环保与赛默飞(thermo fisher)，瑞士万通(metrohm)，沃特世(waters)，安捷伦(Agilent)等公司合作，销售代理品牌产品。同时，拥有多年实验室二手分析仪器设备国内服务经验,国外稳定采购渠道，国内翻新检测出厂安装调试，到后期维修维保及相关的技术支持，富瞻环保专业的服务团队努力为客户创造更有性价比的解决方案。
水质产品：
主要合作品牌产品有：
水质仪器合作品牌主要有：
气体检测仪品牌主要有：
实验室分析器品牌主要有：
传感器品牌主要有：
实验室试剂耗材品牌：
1、nalgene：广口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
半导体测试设备
物料 电子元器件、芯片
电子仪表
详细信息
薄膜应力及基底翘曲测试设备
产品品牌：Frontier Semiconductor
产品型号：FSM 128
薄膜应力及基底翘曲测试设备简介
FSM推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆（Optilever）技术，主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹，分层，突起和空隙是如何形成的问题。FSM128系列设备，适合在半导体，三-五族，太阳能，微机电，数据存储和液晶面板行业的下一代器件的研发和生产中使用。
快速&非接触激光扫描
3-D 视图 &轮廓图
可在室温&高温环境下测量
适用晶圆尺寸 50-300mm(如有其它尺寸测量需求可定制)
可使用机械手臂搬送晶圆
主要设计特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容测量50-200mm尺寸晶圆，而无需更换晶圆样品载片台。FSM 128系列其它型号主要针对其它尺寸样品设计。(例如：FSM128L可以测量大到300mm尺寸的晶圆样品，而FSM 128G则专门设计来测量尺寸大到650 x 550mm的面板样品)
· 样品容易放置和回收
设计的可自动伸缩开关门机构，方便从样品载片台上放置和回收晶圆样品，使多片晶圆测量变得轻而易举。
· 自动切换双波段激光
FSM128系列具有的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时，系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描。这使客户可以测量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金属等几乎所
有的薄膜而不会遇到无法测量的问题。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配备有马达驱动的可旋转载片台，可以快速生成2-D&3D Map图帮助用户可以看到整片晶圆的曲率和应力变化分布，并准确反映出工艺和均匀性有问题的区域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介电材料薄膜的厚度测量功能，使设备变成一台可以在研发和生产环境下灵活使用强大的桌面型设备。
测量结果图表和Map可以很容易以Excel或者Word文档输出生成报告
主要应用于半导体, LED,太阳能,数据存储 & 液晶面板产业
