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KT-S2DQX 射频电源光刻胶清洗等离子清洗机

型号
KT-S2DQX
参数
产地类别:国产 应用领域:综合
郑州科探仪器设备有限公司

高级会员5年 

生产厂家

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郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及*校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一

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目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机介绍

等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机参数

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

观察窗内径

Φ50

气体流量

0—50ml/min(其他量程可选)

过程控制

过程手动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

450x450x360mm

重量

23Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。










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产品参数

产地类别 国产
应用领域 综合
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详询客服 : 0571-87858618
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