等离子清洗机，顾名思义，是通过等离子体来实现清洗的设备。那什么是等离子体呢。等离子体是一种高能带电的气体，可以通过加热气体或者施加高压电场等方式产生。因为等离子具有高能量和高活性，可以有效击穿器件表面的氧化物和有机物，使其腐蚀分解成气体或者被吸附走。以此来达到精密清洗的目的。等离子清洗机又分为真空等离子清洗机和大气等离子清洗机。
大气等离子清洗机适用于体积较大的金属、塑料、陶瓷等。清洗速度较快，但其清洗效果和清洗范围受到气流喷射压力和角度的限制。占地较大设备较为昂贵。
真空等离子清洗机在辉光范围内可以清洗到细小夹缝内部的污染物，清洗效果好，不会留下清洗痕迹适用于体积小的更精密的器件清洗，比如PCB制程、元器件封装前、半导体、镀膜工艺、实验室测试等。设备占地面积小，价格低。
真空等离子清洗机的选择需要注意腔体的大小、同真空气体环境下的匹配程度，频率是否稳定等，真空仓门是否有观察窗可直观物体的处理过程。
真空等离子清洗机的配置也决定了在使用过程中的清洗效果。皮拉尼真空计可以提供更高的真空度环境，质量流量计和进口的气体传感器可以更精确的控制进气流量。石英腔体可以提供更高的洁净度等。
总体来说，选择使用哪种等离子清洗机取决于具体的清洗需求和应用场景。大气等离子清洗机适合对速度和成本有较高要求的简单表面处理，而真空等离子清洗机则更适合对清洗效果有较高的要求的清洗。
