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主动隔振平台STACIS IIIc
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上海倍蓝光电科技有限公司成立于2012年，是一家年轻而又富有生命力的公司，公司负责人于立民拥有中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室光学专业硕士学位，同时拥有中国科学院上海技术物理研究所航天遥感室物理电子学专业博士学位。曾就职于Labsphere Inc.（蓝菲光学）公司担任该公司亚太区技术总监，负责亚洲区域内客户解决方案的制定及技术支持。在供职期间，主导并设计了多项难度大、技术复杂的定制项目，如大口径空间相机辐射定标系统、弱光紫外空间相机辐射定标系统、单波长可调谐均匀光源系统、高精度多光谱辐亮度标定系统（辐照度标准灯-漫反射板系统）、显示器ACR（环境对比度）测量系统等多个高难度、高复杂度的定制系统。后带领一支具有丰富的仪器设备开发、使用维护经验的工程师和商务人员成立倍蓝光电科技有限公司。
公司专注于光电领域仪器设备的定制开发、代理销售与系统集成业务包括仪器设备的维修和周边产品的销售，为国内科研及制造业用户提供全面的服务。公司致力于引进国际上先进的产品、先进的技术完善定制服务，向客户提供完善的服务、完善的产品、完善的售后服务。帮助客户解决在科研、生产中遇到的问题。
公司在代理和销售光电设备的同时并提供基于各种光电设备的拓展应用和OEM研发。我们在光电行业有着多年的工作经验和实际操作方案，积累了大量的应用和研发实例，为客户提供一站式的解决方案。
详细信息
概述
STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。
在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。
STACIS IIIc优势
与常规STACIS III系统相比，隔离器高度**多降低42％，而性能却没有降低。
STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在**状态下运行。
的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的**主动隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
性能规格
规格
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间 （减少10:1） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器**4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
| 环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
| 主动隔振元件 | **小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
| 被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
| 隔振器尺寸（宽x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 隔振器重量 | 53磅（24千克） |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 30 - 60% |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE标准 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
| 可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 处理器 | 150/75 MHz双核 |
| 采样率 | 10 kHz |
| 模拟输出 | 16个通道 |
| 模拟输入 | 16个通道 |
| 状态灯 | 单个LED |
| 前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
| 后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器 |
| 用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
STACIS用户及应用领域
1、微电子、半导体
▪ 晶片检测
▪ 显微光刻技术
▪ 掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3、激光台
▪ 生命科学、药物研发
4、工业应用
▪ 精密加工
为什么要选择主动系统？
▪ 从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
▪ 提高质量、生产量
▪ 更加细小特色的成像能力
▪ 前沿研究
▪ 比气动平台更稳定
▪ 满足SEM标准地点安装参数的**解决方案
▪ 使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
▪ 正中了科研者的的心声，提供了尽可能**的无震环境。
▪ 市场上**强劲的低频隔振系统。
▪ 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
▪ STACIS**发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应，由于的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是**的
▪ STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
▪ 6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
▪ 从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
▪ 完善的环境调查服务
▪ 开具专业环境报告
▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方案
▪ TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
▪ 40多年的行业经验，业内的**
应用照片
