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TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准
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生产厂家武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年,是以薄膜物性测量仪器作为战略定位,技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉,霍尔效应测试,RTP,RTA,RTO,热电参数测试,Seebeck系数测试,电导率测试,热导率测试,相变温度分析,液氮低温恒温器等物性检测仪器和半导体工艺设备的研发、市场和技术服务于一体,且相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。
武汉嘉仪通科技有限公司始终坚持自主研发与应用创新,拥有自己的技术工程师研发团队,建有省级工程实验室、新型研发机构以及市级企业技术中心平台,拥有知识产权100多项,主持承担参与了10余项国家科技攻关项目。2020 年,公司研发的“薄膜材料热特性测试技术及仪器”技术与产品荣获了“湖北省技术发明一等奖”。核心序列产品广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域,并服务于国内近500家客户。除此之外,核心产品还远销美国、英国、日本、澳大利亚、以色列、香港、澳门、中国台湾等20多个国家和地区,实实在在为新材料的科研和生产创造了价值。未来,公司依托省级科研共享平台的大数据分析,为世界各国用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。
武汉嘉仪通科技有限公司秉承技术创新、应用为上的行动准则,遵循“专注、创新、成长、勤勉”的核心价值理念,认真做好每一款产品,为客户提供合适的产品与优质的服务。最终实现公司愿景:和员工一起成长为薄膜(热)测量领域的先锋者!
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准,本仪器是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
产品特点:
支持最多20路实时测量晶圆温度;
温度均匀性实时曲线图和数值显示;
采集数据Excel表格导出,并生成报表;
晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告;
可快速更换TC-wafer及自定义功能;
大屏高分辨率显示;
数据最多采集10次/秒;
65瓦Type-C快速充电;
内置大容量电池,使用可达4小时;
10000条数据存储量;
支持多种传输方式,如U盘、蓝牙、无线网络;
便携一体化设计;
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TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准 产品应用:
RTP设备生产厂家
使用RTP设备客户
TC-wafer生产厂家
其他晶圆热处理设备
产品参数:
项目 | TC-20参数 | TC-10参数 |
续航 | 待机15小时、连续使用4小时 | 待机15小时、连续使用4小时 |
屏幕 | 13寸、分辨率:2880*1920 | 10寸、分辨率:1920*1280 |
数据采集速率 | 100ms ~ 450ms | 100ms ~ 450ms |
使用范围 | 室温~ 900℃ | 室温~ 900℃ |
单一点位温度偏差 | ±1.1℃/0.4% | ±1.1℃/0.4% |
晶圆尺寸 | 2吋 ~12吋 | 2吋 ~8吋 |
热电偶测温点数 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |