SPSM紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的较佳选择。（我们可定制PSM-PM-2、4寸探针台）

特点

采用金相高精度显微镜，能最小识别0.1μm的Pad点

样品座可以放置4英寸的晶圆样品

样品座下方位移座可实现样品座三维精细位移调节使得样品测试和换样更加便捷。

最多可安装6个探针臂

探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。

探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，

在100fA以内

CCD放大倍数为50-1000倍，工作距离为100mm

滑台和样品座均采用真空吸附固定。

参数和指标

样品座

卡盘尺寸2/4/6/8/12英寸，可定制

材质 铝合金镀金

样品固定方式 多孔吸附

位移行程：X-±12.5mm，Y-±12.5mm，Z-±6.5mm

移动可分辨精度：10μm

探针臂

固定方式：磁铁吸附

XYZ微调移动行程：XYZ-13mm

微调可分辨精度：1μm

探针臂数量 可安装6个探针臂（左右各3个）

电学线缆 三同轴线缆

漏电流 100fA

探针类型 直流探针

光学系统

显微镜放大倍数 50-1000倍

显微镜工作距离 90-100mm

CCD相机分辨率 彩色2000万像素

可加选件

光学平台

直流探针

样品座

屏蔽箱

可选联用设备

M81同步源和测量模块

M91快速霍尔测量仪

155精密I/V源

激光仪器