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PSM 标准型手动室温探针台
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生产厂家上海胤企制冷设备有限公司 (Avantgarde)成立于2011年,是一家从事特种探针台、实验室超低温及强磁场系统研发制造,集研发、生产、销售于一体的现代高科技企业,主要为高校、科研院所、制造业研发中心及系统集成企业提供的半导体测试系统及科研仪器设备,多年致力深耕低温磁场及探针台技术。
公司已自主研发了一系列特种室温探针台、低温探针台、科研超导磁体、低温恒温器、霍尔效应测试系统、三维磁场测试平台等产品。
Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,外接不同的测量仪器,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测,用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。
PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备,可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究。
特点
• 稳定的双位移调节系统,可以调节样品座和探针臂的位移。
• 样品座可以放置8英寸的晶圆样品,采用多孔分区控制气体吸附固定。
• 移动样品座下面的滑台,可以实现X-Y轴±100mm的移动行程,使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。
• 最多可安装6个探针臂。
• 探针臂采用磁铁吸附,可任意移动,并且可以三维微调,操作方便,扎针精准,四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电流小,在100fA以内。
• CCD放大倍数为180倍,工作距离为100mm。