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SG-O 光焱科技CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

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SG-O
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光焱科技股份有限公司

高级会员4年 

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光焱科技图像传感器测试仪

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QE量子效率测试仪,3A

光焱科技股份有限公司介绍

 

Enlitech光焱科技创建于2009年,专精量子效率(Quantum Efficiency/ SR/ IPCE)测量,从事科学仪器的研发、客制化生产并提供客户一站式解决方案及服务。

 

  • R&D 创新研发、技术整合、客户端解决方案

 

在日新月异的太阳能光伏/半导体/材料科学/化学领域中,为客户预先提供“下一步”解决方案,帮助客户实现在科学研究、技术和产业领域的专业和创新突破。我们拥有光学技术、机构设计、电子与电控技术整合、软体与资料库设计开发,根据产业动态、丰富业务经验,为客户提供产品与专案企划、咨询需求到系统运营的整合性服务。成功协助客户在半导体材料、太阳能电池、钙钛矿太阳能电池(Perovskite Solar Cell)、新型材料研究及影像传感器(CMOS Sensor)、相机(含手机相机、工业相机及科学及相机)等领域的研发上取得许多重大突破并获得优越成果。

 

  • 钙钛矿太阳能电池(Perovskite Solar Cell)应用服务

 

扩展钙钛矿太阳能电池(Perovskite Solar Cell, PSC)应用领域、提高转换效率,是近年前沿研究的主要课题。近十年,钙钛矿太阳能电池光电转换效率的成长纪录不断刷新世界纪录,目前已达到23.3%,成为太阳能电池领域的新秀!由于钙钛矿太阳电池具有高度不稳定性、衰减速率快等特性,成为研究人员面临的挑战。我们针对钙钛矿太阳能电池的特性,提供涵盖设计、研发、软体、测样、分析管理等测量仪器与整合方案,让客户能有效、准确地测出钙钛矿太阳能电池的转换效率,为客户研究创新带来优势。

 

  • 多元产业应用服务

 

光焱科技将光电检测技术,延伸至半导体、材料科学、LED发光材料、航太应用及生医领域,提供专案研发和实验室仪器配套应用的制造、整合、测试和维护管理供应链服务。服务亦涵盖标定校正设备的客制研发,为科学研究、检测认证、新产品开发、制造生产提供完整可靠的一站式解决方案。

技术与维护服务

 

光焱科技自2012年起陆续在大陆、日本、美国、中东及印度建立销售通路及售后服务据点,我们致力于提供给客户完整的检测分析工具,即时提供合适的解决方案,协力科学研究、助力产业升级创新。我们的标准化产品及专案能依据客户需求进行调整和扩展,服务分为四大类别:

 

*专案解决方案:依据客户需求进行新产品研发/产品升级/系统整合等服务。

 

*One-stop-shop 一站式统合服务:涵盖多元的厂牌合作服务。

 

*维护管理服务:提供维修及产品健检管理服务。

 

*快速支援服务:涵盖售前售后客服支援、技术支援、科研支援服务。

 

详细信息

特色


高度均匀的光源

可编程自动探测器

宽温低噪音卡盘

应用

  • CIS / ALS / 光传感器晶圆测试

  • CIS / ALS / 光传感器晶圆映射和良率检查

  • ToF 传感器测试

  • 激光雷达传感器测试

  • InGaAs PD 测试

  • SPAD 传感器测试

  • 光传感器模拟参数测试:

    1. 量子效率

    2. 光谱响应

    3. 系统增益

    4. 灵敏度

    5. 动态范围

    6. 暗电流/噪声

    7. 信噪比

    8. 饱和容量

    9. 线性误差(LE)

    10. DCNU(暗电流非均匀性)

    11. PRNU(光响应非均匀性)

系统设计

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。

规格

SG-O 为您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试中需要的所有内容提供完整的规范。以下是主要组件及其详细信息。如果您需要更多详细信息,请随时与我们联系!

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高度均匀的光源
  1. 10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm

  3. 45±5nm FWHM 中心波长 815nm

  4. 50nm FWHM 的中心波长:1600nm

  5. 60±5nm FWHM 中心波长:650nm

  6. 70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm

  7. 100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm

    • 带外透光率 ≤ 0.01%

    • 带通区峰值传输 ≥ 80%

    • 中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

半自动晶圆探针

光谱辐照度计

更多规格

  SG-O 集成了 Enlitech 的高级光模拟器技术和 MPI 自动探针系统。Enlitech 提供多种光学选项以满足用户对 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试的要求,包括波长范围、光强度和均匀光束尺寸。我们拥有数十年的经验,可以帮助客户解决 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试和设计变化的挑战。请随时与我们联系以获取更多详细信息。我们的专业团队将为您提供帮助!


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主要表现

SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令,例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。

来自 SG-O 显微镜系统的  CIS / ALS / 光传感器芯片图像

SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card-install.jpg
SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card.jpg


CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆的探针卡安装图

用于 CIS / ALS / 光传感器晶圆检测的探针头图像


SG-O CIS 晶圆级测试仪的光均化器

SG-O CIS 晶圆级测试仪光均化器的光学模拟和性能

光束均匀度,在 420nm 下用 42mm x 25mm 测试光束点均匀性,不均匀度为 1% 图示

光束均匀度,束斑尺寸为 50mm x 50mm,不均匀性为 1.43% 图示

不同波长的单色光强度,从紫外到近红外;光强度由Si辐照度计测量,光强度范围能够用于各种 CIS / ALS / 光传感器测试图示

从 NIR 到 SWIR 不同波长的单色光强度,光强度由 InGaAs 辐照度计测量图示

SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎,在整个波长范围内,短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。

图示在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性,光不稳定性由 Si 辐照度计监测 60 分钟,1 小时的不稳定性为 0.12%

图示在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性, 光不稳定性由 SInGaAs 辐照度计监测 60 分钟,1 小时的不稳定性为 0.09%

在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性,光不稳定性由 Si 辐照度计监测 10 小时,10 小时的不稳定性为 0.1% 图示

在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性,光不稳定性由 SInGaAs 辐照度计监测 10 小时,10 小时不稳定性为 0.06% 图示


图示为 SG-O 系统的光强衰减器,光输出强度可以通过 PC 至少 1000 步分辨率来控制

自动探测器的情况说明书,SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪集成了 MPI 探针,更多细节可以在 MPI 的网站上找到

数据源: MPI


SG-O 探针系统中内置了自动单芯片装载机。便于CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆装载。装载和卸除晶圆对用户来说是直接和直观的。上料室前部还集成了温度控制面板,方便操作。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪还具有手动加载功能,可以从前门手动加载晶圆。该前门具有安全管理功能,可自动监测卡盘温度并防止在测试过程中打开门,以保护 CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆和用户的安全。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪的热卡盘由 ERS 最小化的 CDA 系统控制温度,比以前效率更高。温度范围可覆盖 -80°C 至 180°C(取决于 ERA’a型号)。通过使用单独的阀门可以进行氮气吹扫。对于 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试,目标温度上升速率和稳定性非常出色,可在任何







条件下(例如空间)进行。


探针卡尺寸能力可以从 4.5 英寸到 8 英寸长,如图所示 DUT 与 SG-O 高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过 200mm

探针卡尺寸能力可以从 4.5 英寸到 8 英寸长,如图所示 DUT 与 SG-O 高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过 200mm




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