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SAT 520Pro 射频(RF)等离子体
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生产厂家赛奥特(北京)科技有限公司总部设在中国北京,是一家专业生产 研发 销售 为一体的科技型企业,以研发 生产 销售等离子清洗机、等离子体系统为主,其前身为唐山燕赵研究院,由于业务的发展需要,自2014年08月01日全面接管唐山燕赵研究的等离子体系统的研发 生产和销售。
自成立以来在广大用户的帮助与支持下,经不懈努力已成为中国材料学 电子 半导体 LED等领域的专业供应商,其产品遍布各个高校研究所 企业等,是Plasma产品领域的主要供应商之一,本公司真诚为您提供更好的产品,更多的便利及更专业的服务,为您的成功铺路搭桥!
我公司本着“人性化”的原则,专业设计、严格的生产及完善的售后服务,这已成为赛奥特在本行业中的骄傲。
质量为先,信誉为重,管理为本,服务为诚。
产品概况
我公司多年以来一直致力于环保方面的研究,而等离子体是目前在材料表面处理方面较为环保和简便的一种方式,利用等离子清洗机对实验材料的清洗、表面改性、及简单刻蚀以及两种样品之间做键合,不需任何耗材,没有任何污染。
我公司研发团队正是基于这一环保理念结合目前市场需求成功研发以“赛奥特”(SAT)为品牌的等离子设备系列产品:SAT系列,多达15种型号供您选择。
等离子在科学研究各方面已经取得了广泛的运用,涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域,
主要用于以下实验:材料清洁和活化 灰化表面有机层 有机物去除 键合 改变亲水性/疏水性 金属还原 表面刻蚀 材料老化实验 去胶 等离子涂镀聚合等各方面。
赛奥特(SAT)/射频(RF)等离子体/SAT 520Pro
一 应用领域
赛奥特(SAT)/射频(RF)等离子体/SAT 520Pro适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、半导体、高分子科学、微观流体学等领域.
二 主要实验应用 1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.沉积实验 10.形成新的基团 11.镀膜前处理等
三 技术特点
※1.实时检测和显示真空度,使得设备在智能控制下有了可靠的依据.
※2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.
3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.
4.腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.
※5.电容式(CCP)激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.
6.采用触摸屏显示控制,手动,自动两种模式任意切换.
7.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验.
8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应,使材料表面成分、组成和结构发生变化,并能得到某些特定的基团。
9.无需耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可。
四 技术规格
1.样品腔体尺寸:255(深度)X155(直径)mm ,不锈钢材质.
2.放置样品托盘尺寸:150(宽)X230(长)mm,材质:6061铝氧化本色
※3.射频频率:13.56MHz,配置自动匹配器.
※4.射频功率:150W,0到150W可调,精度:1瓦.
※5.辉光放电功率:10W--150W
6.辉光放电时间设定:1秒到99分59秒.
※7.气路设置:3气路(2路进气,一路放空).
※8.工作气体稳定时间:可调,可设定,范围:0--180秒.
※9.进气控制:两路质量流量计(MFC)控制.
10.工作气体:空气\氮气\氩气\氮氢混合气\氩氦混合气等均可; 也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。
11.进气压力:通入空气时常压,接入钢瓶时,钢瓶进气压力调整到0.1-0.2Mpa
12.供电电源:~220V/50Hz
13.外形尺寸(宽*深*高)mm:440ⅹ490ⅹ485
14.整机重量(约):30Kg
五 真空泵
标准配置为机械油泵:1)抽速:2升/秒 2)极限压强:6*10-2帕 3)噪音;≤66db 4)抽气KF16法兰接口,排气口KF25接口 5)电源线为阴插线
六 基本配置
主机+真空系统(双极机械真空油泵、油雾过滤器、真空管、KF16法兰)、外加气体软管、样品托盘、说明书、电源线、合格证
七选配件
(一)机械油泵 型号:VRD-8
1.抽速:2.2升/秒 2.极限压强:≤5*10-2帕 3.噪音;≤56db 4.工作环境温度:5—45
(二)干泵(1) 型号:GWSP150
1.抽速:2升/秒 2.极限压强:≤6帕 3.噪音;≤57db
4.工作环境温度:5--45℃
干泵(2)型号: SPH10
1.抽速:2.8升/秒 2.极限压强:≤2帕 3.噪音;≤55db
4.工作环境温度:5--45℃