作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20原子力显微镜，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

全面多样的分析功能

Park NX20原子力显微镜可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

· 对样品和基片进行表面粗糙度测量

· 缺陷检查成像与分析

· 高分辨率电子扫描模式

· 三维结构测量的解耦XY扫描系统

· 低噪声Z探测器可精确测量原子力显微镜表面形貌

Park NX20特点

低噪声XYZ位置传感器

自动多点样品扫描

扫描头滑动嵌入式设计

用于高级扫描模式易插拔扩展槽

高速24位数字电子控制器

高速Z轴扫描器，扫描范围达15 µm

集成编码器的XY自动样品载台

操作方便的样品台

同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统。

自动Z轴移动和聚焦系统

Park NX20技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm

样品架

样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
样品重量 : < 500 g

光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

电子

集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制

信号处理

ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压